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电子薄膜技术与前沿应用 简介
全书涵盖了从真空技术、蒸发镀膜法、溅射沉积法等传统薄膜制备技术,到电子薄膜生长理论、常见表征方法、新型薄膜材料的开发与应用等多个方面。在第十章中,重点讨论了电子薄膜技术在微电子、集成电路、能源电子、超导以及柔性电子等领域中的最新应用与发展。
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