光刻机是集成电路制造的核心装备, 直接决定了集成电路的微细化水平。本书介绍了集成电路与光刻机的发展历程; 重点介绍了光刻机整机、分系统与曝光光源的主要功能、基本结构、工作原理、关键技术等; 简要介绍了计算光刻技术; 最后介绍了光刻机成像质量的提升与光刻机整机、分系统的技术进步。并列题名：Integrated circuit and lithographic tool eng