本书以作者攻读博士学位期间承担相关课题的工作为基础, 围绕飞秒激光微器件制备质量优化中的若干问题, 系统阐述了像差补偿、加工光斑三维整形以及扫描步距优化等方面的理论与实验研究。全书共分为七章, 内容包括飞秒激光微加工领域国内外研究的现状、飞秒激光双光子微加工机理及系统、空气和被加工材料折射率不同对微加工的影响及其补偿方法、飞秒激光微加工焦点光斑的三维整形、扫描步距对微器件表面质量的影响及其优化方法等。