微机电系统(MEMS):元器件、电路及系统集成技术和应用 简介
本书共19章，分为两大部分：第1-9章为技术部分，讨论各类新型微机电系统(MEMS)器件；第10-19章属应用部分，详细阐述以MENS为基础的各种新颖的应用。
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