微系统设计导论 简介
本书是以微结构设计与系统功能优化为基础，介绍微系统设计的教科书。全书共23章，包括微传感、微驱动、微流体控制、微光学等微系统的关键结构与功能元件的设计。并列题名： Introduction to microsystem design eng
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