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精密微电子封装装备的设计理论与系统开发 简介
本书共分8章,介绍了精密微电子封装装备的设计理论、控制技术及系统开发;介绍了高速高精度微电子封装装备开发的若干关键技术。全书从执行机构的设计与优化、运动控制器的设计和控制方法、视觉定位与检测及键合工艺等方面介绍项目组在微电子封装装备设计理论与系统开发等方面的研究进展。
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