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半导体材料物理与技术

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半导体材料物理与技术

作者:杨建荣 著
出版社:科学出版社
ISBN:978-7-03-062732-2
出版年:2020

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半导体材料物理与技术 简介
本书将这一分支学科的专业知识划分为半导体材料概述、物理性能、晶体生长热处理、性能测量和工艺基础技术6个组成部分,通过把分散在众多教科书、专著和文献资料中的专业知识系统地纳入这一学科体系框架,使之成为一本全面介绍半导体材料物理知识、工艺基本原理和实用化技术的专业书籍。并列题名:Physics and technology of semiconductor materials eng

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