本书是为材料、物理及电子信息等本科专业编写的教材,介绍了半导体材料的结构特性、制备工艺、测试表征、发展历程及研究前沿。全书共分5章,第1章为半导体材料概述;第2章为典型半导体材料;第3章为半导体材料的制备与工艺;第4章为纳米半导体材料;第5章为半导体材料测试与表征;附录为典型半导体材料的性能参数。本书尽量避免过多的理论阐述,结合作者多年科研积累,力求采用通俗易懂的语言讲清楚半导体材料的基本内容与思想方法,并着重突出了近年来纳米半导体材料发展及相应的新的理论成果、技术方法与器件应用。