MEMS系统级建模 简介
本书论述了MEMS系统级建模技术，内容共分五部分。第一部分介绍了MEMS宏模型建模技术的理论基础。第二部分介绍了基于集总单元的宏模型建模方法及其在电热执行器、RF MEMS器件、封装效应、分布效应上的仿真应用。第三部分介绍了各种数学模型降阶技术。第四部分介绍了完整系统的建模。第五部分介绍了商用软件中的系统级建模与仿真环境。并列题名： System-level modeling of MEMS eng
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