《压电微机电谐振器》978-7-111-63763-9.pdf-布格拉 (美) (Bhugra, Harmeet) 主-电子书下载-云上书馆

下载本书 下载格式： pdf格式 epub格式 接收邮箱(本功能测试中)： 分享给好友: 压电微机电谐振器; 作者：布格拉 (美) (Bhugra, Harmeet) 主; 出版社：机械工业出版社; ISBN：978-7-111-63763-9; 出版年：2020

压电微机电谐振器简介

本书主要介绍压电MEMS谐振器的各种制作材料、工艺、参数、特性、测试和评估方法等，并针对相关器件商业化难题进行了讨论，给出了两个成功案例。压电MEMS谐振器具有微型化、更经济、更高性能的品质，在商业化方面极具潜力。并列题名：Piezoelectric MEMs resonators eng

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