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微位移平台数据采集与处理技术 简介
本书以沈阳建筑大学微纳检测与运动控制实验室的微位移平台为研究对象，对微位移平台数据采集（包括控制系统数据采集部分以及检验系统数据采集部分）进行介绍，并对控制系统数据和检验系统数据的处理进行论述。
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