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微电子工艺技术与仿真 简介
本书共8章，从微电子工艺的物理学、晶体学、器件基础开始没根据工艺的复杂程度深入浅出地介绍了晶圆材料的生长于制备、氧化/扩散工艺、光刻工艺、薄膜工艺、等离子工艺、工艺整合和太阳能电池工艺。
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