惯性MEMS器件原理与实践 简介
本书从实践角度对基于MEMS惯性传感器的设计、制造以及测试进行系统全面的介绍。通过阅读本书能很快掌握相关的基础知识,包括MEMS技术、封装、动力学、力学以及换能器技术等。另外,还可对不同实现方案及构建设计有一全面的了解,同时对测试和标校的关键也有总体的认识。并列题名: Inertial MEMS principles and practice eng
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