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原子层沉积技术:原理及其应用 简介
本书共13章，前5章主要介绍原子层沉积技术的发展历史、原子层沉积原理等基础内容；第6-7章侧重介绍等离子体增强原子层沉积和分子层沉积新方法；第8-13章涉及了原子层沉积在微电子、纳米技术、光学、能源等领域的应用。
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