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非硅MEMS技术及其应用 简介
非硅MEMS技术是在硅MEMS技术基础上发展起来的，又与硅MEMS技术互为补充。本书详细地叙述了非硅MEMS技术的特点，非硅材料，三维非硅微加工新技术，新型非硅微传感器和微执行器等非硅MEMS技术及其应用。
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