《硅加工中的表征》9787560342801.pdf-（美）布伦协尔　等主编-电子书下载-云上书馆

下载本书 下载格式： pdf格式 epub格式 接收邮箱(本功能测试中)： 分享给好友: 硅加工中的表征; 作者：（美）布伦协尔　等主编; 出版社：哈尔滨工业大学出版社; ISBN：9787560342801; 出版年：2014/1/1

硅加工中的表征简介

　　《硅加工中的表征》是材料表征原版系列丛书之一。全书共分六章，内容包括：材料表征技术在硅外延生长中的应用；多晶硅导体；硅化物；铝和铜基导线；级钨基导体；阻隔性薄膜。本书适合作为相关领域的教学、研究、技术人员以及研究生和高年级本科生的参考书。

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